| teema: | SPM-tomograaf |
|---|---|
| tunnusnumber: | ESTAG22 |
| projekti tüüp: | EAS Tehnoloogiaagentuuri eeluuringu projektitoetus |
| erialad: |
2.2. Materjaliteadus |
| seisund: | lõppenud |
| asutus: | TÜ Füüsika Instituut |
| projekti juht: | Ants Lõhmus |
| kestus: | 17.06.2002 - 31.08.2002 |
| kirjeldus: | Projekti eesmärgiks on ruumilise teravikmikroskoobi prototüübi loomine ja selle kasutamismetoodika väljatöötamisega seotud rakendusuuringute läbiviimine, et saavutada elektroonikatööstuses, aparaadi- ja masinaehituses ning teaduslikus uurimistöös vajalike objektide pindmiste kihtide ülitäpset ruumilist (3D) kujutist. |
| projektiga seotud isikud | ||||
|---|---|---|---|---|
| nr | nimi | asutus | amet | |
| 1. | Ants Lõhmus | TÜ Füüsika Instituut | ||