| teema: | Pinna- ja siirdekihtide mõju laia keelutsooniga oksiidikilede aatomkihtkasvule ja omadustele |
|---|---|
| tunnusnumber: | ETF5861 |
| projekti tüüp: | Eesti Teadusfondi grant |
| erialad: |
1.3. Füüsika 2.2. Materjaliteadus |
| seisund: | käimasolev |
| asutus: | TÜ Füüsika-keemiateaduskond |
| projekti juht: | Arnold Rosental |
| kestus: | 01.01.2004 - 31.12.2007 |
| kirjeldus: | Käesoleva projekti põhieesmärk on tundma õppida siirdekihtide tekkemehhanisme ning siirde- ja pinnakihtide osa (mikro)elektroonikaseadiste komponentides, mis baseeruvad üliõhukestel oksiidikiledel. Selliste kilede kasvuprotsessi käigus sageli kontrollimatult tekkivate siirde- ja/või pinnakihtide mõju võib osutuda kriitiliseks seadiste funktsioneerimise seisukohalt. Probleem on tuntud, kuid rahuldavate lahenduste leidmine on komplitseeritud ja nõuab süstemaatilisi fundamentaaluuringuid. Seda silmas pidades uuritakse töös üksikasjalikult elektroonikaseadiste edasiarendamiseks vajalike metalloksiidide (HfO2, ZrO2, TiO2, SnO2 jt.) aatomkihtkasvu ja kasvatatud kilede füüsikalisi omadusi. Uuringute tulemusena pakutakse välja uusi tehnoloogilisi lahendusi, kuidas reprodutseeritavalt valmistada 1) senisest stabiilsemaid suure dielektrilise läbitavusega dielektrikkilesid, mis sobiksid rakendamiseks järgmise põlvkonna ultrakõrge integratsiooniastmega dünaamilise mälu kondensaatorites ja metall-oksiid-pooljuht-väljatransistorides ja 2) gaasitundikke pooljuhtkilesid, mis lubaksid parandada oksüdeerivatele või redutseerivatele gaasidele reageerivate pooljuht-gaasisensorite kvaliteeti. Ühe uudse momendina pööratakse suurt tähelepanu nimetatud oksiididest kilede epitaksiaalkasvu mehhanismidele, kasvanud epitaksiaalkilede omadustele ning nende kilede kasutamisvõimalustele ülalmainitud eesmärkidel. Loodetakse tuua rohkem selgust kasvu dünaamikasse ja saada hulgaliselt andmeid selle kohta, kuidas kile optilised ja elektrilised omadused on seotud tema struktuuriga. |
| projektiga seotud isikud | ||||
|---|---|---|---|---|
| nr | nimi | asutus | amet | |
| 1. | Jaan Aarik | Tartu Ülikool | teadur | |
| 2. | Aleks Aidla | Tartu Ülikool | insener | |
| 3. | Aarne Kasikov | Tartu Ülikool | juhataja | |
| 4. | Kaupo Kukli | Tartu Ülikool | vanemteadur | |
| 5. | Ahti Niilisk | Tartu Ülikool | vanemteadur | |
| 6. | Arnold Rosental | TÜ Füüsika-keemiateaduskond | vanemteadur | |
| 7. | Hele Siimon | TÜ MTI | lektor | |
| 8. | Aivar Tarre | Tartu Ülikool | teadur | |
| 9. | Teet Uustare | Tartu Ülikool | vanemteadur | |