| teema: | Metall-SiC kontaktkihi struktuuridefektide uurimine |
|---|---|
| tunnusnumber: | ETF5917 |
| projekti tüüp: | Eesti Teadusfondi grant |
| erialad: |
2.2. Materjaliteadus 2.9. Süsteemitehnika ja infotehnoloogia |
| seisund: | käimasolev |
| asutus: | TTÜ Keemia- ja materjalitehnoloogia teaduskond |
| projekti juht: | Mart Viljus |
| kestus: | 01.01.2004 - 31.12.2006 |
| kirjeldus: | Projekti üldiseks eesmärgiks on Shottky dioodiga kontaktide omaduste parandamine. Traditsiooniliselt saadakse kontakt metalli pealeaurustamise teel pooljuhi pinnale. Sel meetodil saadav metallikiht on väga õhuke (nanomeetrite suurusjärgus), mis omakorda seab näivtakistuse (impedantsi) tõttu piirangud kontakti läbivale voolule. Üheks lahenduseks on kasutada pealeaurustamise asemel metalli ja pooljuhi difusioonkeevitust. Meetod võimaldab oluliselt suuremaid voolutugevusi, kuid tal on ka omad piirangud, mis tulenevad paljuski difusioonipiirkonnas (kontaktkihis) tekkivatest struktuuridefektidest. Projekti sisuks ongi nende defektide uurimine erinevate meetoditega (TEM, AFM, STM). Projekti eeldatavaks tulemuseks on difusioonkeevituse tehnoloogia optimeerimine struktuuridefektide vähendamise eesmärgil. |
| projektiga seotud isikud | ||||
|---|---|---|---|---|
| nr | nimi | asutus | amet | |
| 1. | Oleg Korolkov | Tallinna Tehnikaülikool | teadur | |
| 2. | Natalja Kuznetsova | Tallinna Tehnikaülikool | ||
| 3. | Koit Mauring | Tartu Ülikool | vanemteadur | |
| 4. | Reet Nisumaa | Tallinna Tehnikaülikool | teadur | |
| 5. | Kaido Reivelt | Tartu Ülikool | erakorraline teadur | |
| 6. | Mart Viljus | TTÜ Keemia- ja materjalitehnoloogia teaduskond | vanemteadur | |