| teema: | Tahkise pinna ja sadestiste uurimine teravik- ja sondmeetoditega |
|---|---|
| tunnusnumber: | ETF5032 |
| projekti tüüp: | Eesti Teadusfondi grant |
| erialad: |
1.3. Füüsika 2.2. Materjaliteadus |
| seisund: | lõppenud |
| asutus: | TÜ Füüsika Instituut |
| projekti juht: | Väino Sammelselg |
| kestus: | 01.01.2002 - 31.12.2005 |
| kirjeldus: | Töö eesmärk on saada uut teavet tahkise pinna ja sadestiste kohta uurides seda teravik ja sondmeetoditega ning aidata kaasa tehnoloogiate arendamisele, mis kasutavad pinnanähtusi ja õhukesi sadestisi/kilesid. Antud töö raames on kavas arendada uusi teravikmikroskoopia ja sondanalüüsi metoodikaid, vastastikku neid kontrollida ja integreerida uuritavatest objektidest usaldusväärsema ja kompleksema teabe saamise eesmärgil, projekteerida ja ehitada objektide pinna modifitseerimise/sadestamise sõlm, et uurida õhus saastamata pindasid. Teravikmikroskoopia ja sondanalüüside abil loodetakse saada uut teavet pindade ja sadestiste lokaalse struktuuri, mehaaniliste ja elektriliste omaduste kohta ning läbi tehnoloogia muutuste neid varieerida/reguleerida. Objektide prepareerimisõlme ja analüüsikompleksi abil loodetakse saada teavet alusmaterjalide pindade ja seal leiduvate ainete mõjust esialgsele nukleatsioonile kilede sadestamisel ning leida viisid kuidas seda mõjutada epitaksiaalse kasvu suunas. Samuti loodetakse saada usaldusväärsemat infot sadestiste keemilise koostise kohta. Rakenduslikus plaanis peaks eelpoolmainitud töö aitama kaasa pinnanähtusi ja õhukesi sadestisi/kilesid kasutavate tehnoloogiate tootmisesse rakendamisele. |
| projektiga seotud isikud | ||||
|---|---|---|---|---|
| nr | nimi | asutus | amet | |
| 1. | Aleks Aidla | Tartu Ülikool | vaneminsener | |
| 2. | Toonika Rinken | Tartu Ülikool | teadur | |
| 3. | Agu Saar | Tartu Ülikool | vanemteadur | |
| 4. | Väino Sammelselg | Tartu Ülikooli Füüsika Instituut | vanemteadur | |
| 5. | Hele Siimon | Tartu Ülikool | lektor | |